ROHS檢測(cè)儀就是X射線熒光光譜儀，其分析原理也就是X射線熒光光譜儀的分析原理。
X射線熒光光譜儀通?？煞譃閮纱箢?，波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀(WDXRF)和能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF)，波長(zhǎng)色散光譜儀主要部件包括激發(fā)源、分光晶體和測(cè)角儀、探測(cè)器等，而能量色散光譜儀則只需激發(fā)源和探測(cè)器和相關(guān)電子與控制部件，相對(duì)簡(jiǎn)單。
相對(duì)應(yīng)的X射線熒光光譜儀有：
手持式ROHS分析儀
斯派克臺(tái)式小焦點(diǎn)X射線熒光光譜儀
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