激發(fā)光源：用來激發(fā)原子使其產(chǎn)生原子熒光。光源分連續(xù)光源和銳線光源。連續(xù)光源一般采用高壓氙燈，功率可高達數(shù)百瓦。這種燈測定的靈敏度較低，光譜干擾較大，但是采用一個燈即可激發(fā)出各元素的熒光。常用的銳線光源為脈沖供電的高強度空心陰極燈、無電極放電燈及70年代中期提出的可控溫度梯度原子光譜燈。采用線光源時，測定某種元素需要配備該元素的光譜燈。原子熒光的強度If與激發(fā)光源輻射強度I0成比例，因此原子熒光光度計都采用新的高強度光源提高激發(fā)光源輻射強度，I0提高1~2個數(shù)量級，進一步降低光譜儀的檢出限。

單色器：產(chǎn)生高純單色光的裝置，其作用為選出所需要測量的熒光譜線，排除其他光譜線的干擾。單色器有狹縫、色散元件(光柵或棱鏡)和若干個反射鏡或透鏡所組成，色散系統(tǒng)對分辨能力要求不高，但要求有較大的集光本領。使用單色器的儀器稱為色散原子熒光光度計;非色散原子熒光分析儀沒有單色器，一般僅配置濾光器用來分離分析線和鄰近譜線，降低背景。非色散型儀器的濾光器非色散型儀器的優(yōu)點是照明立體角大，光譜通帶寬，熒光信號強度大，儀器結構簡單，操作方便，價格便宜。缺點是散射光的影響大。

原子化器：將被測元素轉化為原子蒸氣的裝置。可分為火焰原子化器和電熱原子化器?；鹧嬖踊魇抢没鹧媸乖氐幕衔锓纸獠⑸稍诱魵獾难b置。所用的火焰為空氣-乙炔焰、氬氫焰等。用氬氣稀釋加熱火焰，可以減小火焰中其他粒子，從而減小熒光猝滅(受激發(fā)原子與其它粒子碰撞，部分能量變成熱運動與其他形式的能量，因而發(fā)生無輻射的去激發(fā)，使熒光強度減少甚至消失，該現(xiàn)象稱為熒光猝滅)現(xiàn)象。電熱原子化器是利用電能來產(chǎn)生原子蒸氣的裝置。電感耦合等離子焰也可作為原子化器，它具有散射干擾少、熒光效率高的特點。

檢測系統(tǒng)：常用的檢測器為光電倍增管。在多元素原子熒光分析儀中，也用光導攝象管、析象管做檢測器。檢測器與激發(fā)光束成直角配置，以避免激發(fā)光源對檢測原子熒光信號的影響。

顯示裝置：顯示測量結果的裝置?？梢允请姳?、數(shù)字表、記錄儀、打印機等。

儀器測量系統(tǒng)根據(jù)檢測元素的數(shù)量可分為單道、雙道、多道等類型。

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